干式壓縮前級真空泵真空度高、抽速快

　　干式壓縮前級真空泵主要用途如下：

　　1、低壓化學氣相堆積中的多晶硅制備工藝中；

　　2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3、將干式真空泵用做一般無油清潔真空體系的前級泵，以避免油污染。

　　4、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等。

　　5、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不期望微?；烊氡糜椭?，而微粒排出泵外，則用必定型式的干式真空泵可以滿足要求。

　　干式壓縮前級真空泵的使用優勢有：

　　一、真空度高、抽速快，可以單機從大氣壓下直接啟動抽至1Pa左右的極限真空，并且在較寬的壓力區間內能夠保持大抽速運行；對于真空機組來說，也能為主泵提供更好的前級泵條件。

　　二、防腐，適用于各種介質環境。整體結構簡單，可實現整體針對性涂層，實現可有效的防腐。

　　三、無污染，回收能力強。非接觸雙螺桿結構，并且采用夾套水冷卻，無需油水等介質參與冷卻密封過程，無油無水，因此抽氣過程不存在多種形式的污染，對于化工制藥中的一些溶劑回收應用來說，更加高效。

　　四、自動清洗，可以輕松增加自動清洗裝置，在啟停階段可以進行自動清洗，防止使用過程中出現異物殘留、積聚導致的卡死、腐蝕等問題，同時可以大大減少真空泵的人工維護工作。

　　五、排出污物能力強，非接觸結構，使得螺桿轉子與螺桿轉子，螺桿轉子與腔體之間都有間隙，并且氣體通道連續、排氣路徑較短，對于一些顆粒物、液體、以及可凝性介質都具有良好的排出能力，適應性更強。